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一种阴极敷膜用高致密细晶靶材及其制备方法

陈伟文

有色金属材料与工程2019，Vol.40Issue(1)：P.61-61,1.
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有色金属材料与工程2019，Vol.40Issue(1)：P.61-61,1.

一种阴极敷膜用高致密细晶靶材及其制备方法

陈伟文1

作者信息

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摘要

关键词

专利信息/有色金属矿产资源/强化技术/焙烧方法/专利申请号/专利名称/节能减排/申请人

分类

矿业与冶金

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陈伟文..一种阴极敷膜用高致密细晶靶材及其制备方法[J].有色金属材料与工程,2019,40(1):P.61-61,1.

有色金属材料与工程

2096-2983

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