电源技术2019，Vol.43Issue(6)：979-981,1000,4.
离子源在太阳电池减反射膜沉积中的应用研究
Research of ion source assistance for solar cell anti-reflection coating deposition
孙希鹏 1李晓东 1杜永超 1肖志斌2
作者信息
- 1. 天津恒电空间电源有限公司,天津300384
- 2. 中国电子科技集团公司第十八研究所,天津300384
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摘要
关键词
离子源辅助/太阳电池/减反射膜分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
孙希鹏,李晓东,杜永超,肖志斌..离子源在太阳电池减反射膜沉积中的应用研究[J].电源技术,2019,43(6):979-981,1000,4.
