光学精密工程2019，Vol.27Issue(5)：1087-1095,9.DOI:10.3788/OPE.20192705.1087
单晶硅反射镜的超精密磨削工艺
Ultra-precision grinding of monocrystalline silicon reflector
摘要
关键词
单晶硅反射镜/工件旋转法磨削/表面/亚表面损伤/面形控制/超细粒度金刚石砂轮分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
王紫光,康仁科,周平,高尚,董志刚..单晶硅反射镜的超精密磨削工艺[J].光学精密工程,2019,27(5):1087-1095,9.基金项目
国家自然科学基金重大研究计划集成项目(No .91323302) （No .91323302）
国家自然科学基金资助项目(No .51875078) （No .51875078）
国家自然科学基金青年基金项目(No .51505063) （No .51505063）
国家科技重大专项(02专项)(No .2014ZX02504001) （02专项）
