传感技术学报2019，Vol.32Issue(6)：809-814,6.DOI:10.3969/j.issn.1004-1699.2019.06.002
微机械陀螺振动失效机理及可靠性设计研究
Research on the Vibration Failure Mechanism and Reliability Design of a MEMS Gyroscope
何春华 1赵前程 2杨振川 1张大成 1闫桂珍1
作者信息
- 1. 北京大学微电子学研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室,北京100871
- 2. 美的集团,广东 佛山528311
- 折叠
摘要
关键词
微机械陀螺/振动可靠性/响应特性/抗振设计分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
何春华,赵前程,杨振川,张大成,闫桂珍..微机械陀螺振动失效机理及可靠性设计研究[J].传感技术学报,2019,32(6):809-814,6.
