现代制造工程Issue(5)：13-17,5.DOI:10.16731/j.cnki.1671-3133.2019.05.003
新型研磨垫对单晶氧化镓研磨的实验研究
Experimental research on lapping of single crystal gallium oxide with new type lapping pad
摘要
关键词
研磨垫/单晶氧化镓/研磨/材料去除率/表面质量分类
机械制造引用本文复制引用
龚凯,周海,黄传锦,韦嘉辉,王晨宇..新型研磨垫对单晶氧化镓研磨的实验研究[J].现代制造工程,2019,(5):13-17,5.基金项目
国家自然科学基金项目(51675457) （51675457）
江苏省产学研前瞻性创新资金项目(BY2016065-55) （BY2016065-55）
江苏省科技成果转化项目(BA2015165) （BA2015165）
