现代制造工程Issue(6)：89-95,7.DOI:10.16731/j.cnki.1671-3133.2019.06.016
蓝宝石基片的单面研磨工艺研究
Research on the single-sided lapping parameters of sapphire substrate
摘要
关键词
蓝宝石基片/单面研磨/材料去除率/表面粗糙度分类
机械制造引用本文复制引用
潘继生,郑坤,廖博涛,阎秋生..蓝宝石基片的单面研磨工艺研究[J].现代制造工程,2019,(6):89-95,7.基金项目
NSFC-广东联合基金项目(U1801259) （U1801259）
广东省自然科学基金重点项目(2015A030311044) （2015A030311044）
广东省科技计划项目(2016A010102014) （2016A010102014）
