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化学气相沉积石墨烯薄膜的洁净转移

张晓波 青芳竹 李雪松

物理学报2019,Vol.68Issue(9):1-11,11.
物理学报2019,Vol.68Issue(9):1-11,11.DOI:10.7498/aps.68.20190279

化学气相沉积石墨烯薄膜的洁净转移

Clean transfer of chemical vapor deposition graphene film

张晓波 1青芳竹 1李雪松1

作者信息

  • 1. 电子科技大学电子科学与工程学院,电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都610054
  • 折叠

摘要

关键词

石墨烯/化学气相沉积/转移/污染

引用本文复制引用

张晓波,青芳竹,李雪松..化学气相沉积石墨烯薄膜的洁净转移[J].物理学报,2019,68(9):1-11,11.

基金项目

国家自然科学基金(批准号:51802036,51772043)、国家留学基金(批准号:201708515008)、四川省重点研发项目(批准号:2018GZ0434)和四川省应用基础研究项目(批准号:2019YJ0168)资助的课题. (批准号:51802036,51772043)

物理学报

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

1000-3290

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