传感技术学报2019,Vol.32Issue(7):1022-1026,5.DOI:10.3969/j.issn.1004-1699.2019.07.011
一种航空配套微压传感器芯片设计及制备
Design and Fabrication of a Pressure Sensor Chip Applied in Aviation Field
摘要
关键词
微压传感器/芯片设计/曲线拟合/灵敏度/非线性误差分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
李闯,赵立波,王尊敬,徐留根,张磊,涂孝军..一种航空配套微压传感器芯片设计及制备[J].传感技术学报,2019,32(7):1022-1026,5.基金项目
博士后国际交流计划引进项目(博管办[ 2018] 115号) (博管办[ 2018] 115号)
中国博士后科学基金面上项目(2019M651934) (2019M651934)
2019年度江苏省博士后日常项目 ()