光学精密工程2019，Vol.27Issue(4)：842-848,7.DOI:10.3788/OPE.20192704.0842
电容式环形微机电振动陀螺的设计
Development of capacitive MEMS vibrating ring gyroscope
摘要
关键词
微机电系统/环形微机电陀螺/敏感结构/电容电极/加工工艺分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
寇志伟,曹慧亮,石云波,张英杰,刘俊..电容式环形微机电振动陀螺的设计[J].光学精密工程,2019,27(4):842-848,7.基金项目
国家自然科学基金国家重大科研仪器研制项目(No.51727808) （No.51727808）
国家自然科学基金资助项目(No.51705477) （No.51705477）
山西省留学回国人员科技活动择优资助项目(重点)(No.2018-008) （重点）
中北大学电子测试技术重点实验室开放基金资助项目(No.ZDSYSJ2015004) （No.ZDSYSJ2015004）
毁伤技术国防重点学科实验室开放基金资助项目(No.DXMBJJ2017-15) （No.DXMBJJ2017-15）
