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计量型扫描电子显微镜成像的微纳米级振动

杜晨辉 龚亮 蔡小勇 殷伯华 江潮 安立宝

光学精密工程2019，Vol.27Issue(4)：860-867,8.
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光学精密工程2019，Vol.27Issue(4)：860-867,8.DOI:10.3788/OPE.20192704.0860

计量型扫描电子显微镜成像的微纳米级振动

Micro-nanometer scale vibration in imaging of metrological scanning electron microscope

杜晨辉 1龚亮 1蔡小勇 2殷伯华 3江潮 4安立宝1

作者信息

  • 1. 华北理工大学机械工程学院,河北唐山063210
  • 2. 中国科学院国家纳米科学中心中国科学院纳米标准与检测重点实验室,北京100190
  • 3. 中国科学院电工研究所北京市生物电磁学重点实验室,北京100190
  • 4. 中国科学院大学,北京100049
  • 折叠

摘要

关键词

计量型扫描电子显微镜/微位移台/振动/耦舍位移/有限元分析

分类

机械制造

引用本文复制引用

杜晨辉,龚亮,蔡小勇,殷伯华,江潮,安立宝..计量型扫描电子显微镜成像的微纳米级振动[J].光学精密工程,2019,27(4):860-867,8.

基金项目

国家自然科学基金资助项目(No.51472074) （No.51472074）

河北省引进海外高层次人才“百人计划”资助项目(No.E2012100005) （No.E2012100005）

国家重点研发计划课题(No.2017YFF0105904) （No.2017YFF0105904）

光学精密工程

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-924X

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