光学精密工程2019,Vol.27Issue(6):1277-1285,9.DOI:10.3788/OPE.20192706.1277
通过傅里叶变换测量多表面面形
Measuring multi-surface shape by Fourier transform
摘要
关键词
干涉测量/傅里叶变换/相位恢复/多表面干涉条纹/平行平板/区域生长分类
数理科学引用本文复制引用
李泾渭,辛青,侯昌伦..通过傅里叶变换测量多表面面形[J].光学精密工程,2019,27(6):1277-1285,9.基金项目
国家重点研发计划重大科学仪器设备开发专项(No.2016YFF0101908) (No.2016YFF0101908)