光学精密工程2019，Vol.27Issue(6)：1293-1300,8.DOI:10.3788/OPE.20192706.1293
基于硅各向同性腐蚀工艺的三维曲面壳体微谐振器制备技术
Fabrication of microscale axial symmetric three-dimensional curved shell resonators based on silicon isotropic wet etching
摘要
关键词
微机电系统/3D工艺/硅各向同性腐蚀/壳体谐振器/轴对称分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
庄须叶,陈丙根,李平华,王新龙,曹卫达,丁景兵..基于硅各向同性腐蚀工艺的三维曲面壳体微谐振器制备技术[J].光学精密工程,2019,27(6):1293-1300,8.基金项目
国家自然基金资助项目(No.51875585) （No.51875585）
