光学精密工程2019，Vol.27Issue(7)：1435-1443,9.DOI:10.3788/OPE.20192707.1435
双频激光干涉三自由度微振动测量系统
Three-degree-of-freedom micro-vibration measurement system based on dual-frequency laser interference
摘要
关键词
微振动测量/双频激光干涉/多自由度/不确定度分析分类
数理科学引用本文复制引用
陈家键,胡慧珠,缪立军,周一览,舒晓武..双频激光干涉三自由度微振动测量系统[J].光学精密工程,2019,27(7):1435-1443,9.基金项目
技术基础科研项目(No.JSJL2017110B001) （No.JSJL2017110B001）
中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(No.2016XZZX00401) （No.2016XZZX00401）
