光学精密工程2019，Vol.27Issue(7)：1451-1457,7.DOI:10.3788/OPE.20192707.1451
离子后处理对TiO2光学薄膜及损伤特性的影响
Influence of plasma treatment on optical and damage properties of TiO2 thin films
摘要
关键词
TiO2薄膜/电子束蒸发/光学常数/等离子后处理/激光损伤阈值分类
数理科学引用本文复制引用
毛思达,邹永刚,范杰,兰云萍,王海珠,张家斌,董家宁,马晓辉..离子后处理对TiO2光学薄膜及损伤特性的影响[J].光学精密工程,2019,27(7):1451-1457,7.基金项目
吉林省科技发展计划资助项目(No.20180519018JH) （No.20180519018JH）
国家自然基金青年基金资助项目(No.21707010) （No.21707010）
吉林省优秀青年基金资助项目(No.20180520194JH) （No.20180520194JH）
