光学精密工程2019,Vol.27Issue(7):1473-1480,8.DOI:10.3788/OPE.20192707.1473
大口径平面光学元件波前梯度数控抛光
Large aperture optical element wavefront gradient controlled by computer numerical controlled polishing
摘要
关键词
光学加工/光学元件/数控抛光/波前梯度均方根/匀滑面形拟合分类
矿业与冶金引用本文复制引用
黄金勇,赵恒,胡庆,高胥华..大口径平面光学元件波前梯度数控抛光[J].光学精密工程,2019,27(7):1473-1480,8.基金项目
国家863高技术研究发展计划资助项目 ()