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多晶硅纳米线的湿法刻蚀及光学性质研究

刘波

湖北农机化Issue(13)：86,1.
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湖北农机化Issue(13)：86,1.

多晶硅纳米线的湿法刻蚀及光学性质研究

刘波1

作者信息

  • 1. 江西新能源科技职业学院,江西新余338012
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摘要

关键词

湿法刻蚀/多晶硅/硅纳米线/反射率

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刘波..多晶硅纳米线的湿法刻蚀及光学性质研究[J].湖北农机化,2019,(13):86,1.

湖北农机化

2097-065X

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