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基于水平集方法的离子束刻蚀碲镉汞的轮廓演变模拟

刘向阳 徐国庆 贾嘉 孙艳 李向阳

红外与毫米波学报2019，Vol.38Issue(3)：331-337,7.
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红外与毫米波学报2019，Vol.38Issue(3)：331-337,7.DOI:10.11972/j.issn.1001-9014.2019.03.013

基于水平集方法的离子束刻蚀碲镉汞的轮廓演变模拟

Simulation of profile evolution in HgCdTe ion beam etching by the level set method

刘向阳 1徐国庆 2贾嘉 1孙艳 1李向阳3

作者信息

  • 1. 中国科学院上海技术物理研究所中科院红外成像材料与器件重点实验室,上海200083
  • 2. 中国科学院大学,北京100049
  • 3. 中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室,上海200083
  • 折叠

摘要

关键词

碲镉汞/离子束/刻蚀轮廓/水平集方法/刻蚀速度减缓/深宽比

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

刘向阳,徐国庆,贾嘉,孙艳,李向阳..基于水平集方法的离子束刻蚀碲镉汞的轮廓演变模拟[J].红外与毫米波学报,2019,38(3):331-337,7.

基金项目

国家重点研发计划项目(2016YFB0500600) （2016YFB0500600）

红外与毫米波学报

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

1001-9014

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