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氟化钙对单晶硅片磨削用树脂结合剂金刚石砂轮磨削性能的影响

丁玉龙 惠珍 熊华军 赵延军 包华

金刚石与磨料磨具工程2019，Vol.39Issue(1)：36-40,5.
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金刚石与磨料磨具工程2019，Vol.39Issue(1)：36-40,5.DOI:10.13394/j.cnki.jgszz.2019.1.0007

氟化钙对单晶硅片磨削用树脂结合剂金刚石砂轮磨削性能的影响

Effect of calcium fluoride on grinding performance of resin-bonded diamond grinding wheel for silicon wafer

丁玉龙 1惠珍 1熊华军 1赵延军 1包华1

作者信息

  • 1. 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司,超硬材料磨具国家重点实验室,郑州 450001
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摘要

关键词

表面结构/砂轮磨损量/表面粗糙度/表面损伤层

分类

矿业与冶金

引用本文复制引用

丁玉龙,惠珍,熊华军,赵延军,包华..氟化钙对单晶硅片磨削用树脂结合剂金刚石砂轮磨削性能的影响[J].金刚石与磨料磨具工程,2019,39(1):36-40,5.

基金项目

国家科技支撑计划课题(2015BAF31B00). （2015BAF31B00）

金刚石与磨料磨具工程

OA北大核心CSTPCD

1006-852X

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