金刚石与磨料磨具工程2019，Vol.39Issue(1)：60-65,6.DOI:10.13394/j.cnki.jgszz.2019.1.0011
熔融石英玻璃衬底的平面研磨加工实验研究
Experimental research on plane lapping of fused silica glass substrate
摘要
关键词
熔融石英玻璃/游离磨料/研磨/材料去除率/表面粗糙度分类
矿业与冶金引用本文复制引用
阎秋生,李基松,潘继生..熔融石英玻璃衬底的平面研磨加工实验研究[J].金刚石与磨料磨具工程,2019,39(1):60-65,6.基金项目
NSFC-广东联合基金(No.U1801259) （No.U1801259）
广东省研究生教育创新计划项目(No.2018JGXM35,No.2018SFKC15). （No.2018JGXM35,No.2018SFKC15）
