机械制造与自动化2019，Vol.48Issue(3)：220-222,228,4.DOI:10.19344/j.cnki.issn1671-5276.2019.03.056
晶体生长过程高精度温度控制系统设计
Design of High Precision Temperature Control System in Growth of Crystals
沈正阳 1潘丰1
作者信息
- 1. 江南大学轻工过程先进控制教育部重点实验室,江苏无锡214122
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摘要
关键词
晶体生长/温度控制/顺序控制/系统设计分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
沈正阳,潘丰..晶体生长过程高精度温度控制系统设计[J].机械制造与自动化,2019,48(3):220-222,228,4.
