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硅压阻压力传感器优化设计

张颖英 邓勇生 刘涛 高罗强

物联网技术2019,Vol.9Issue(8):24-25,27,3.
物联网技术2019,Vol.9Issue(8):24-25,27,3.DOI:10.16667/j.issn.2095-1302.2019.08.007

硅压阻压力传感器优化设计

张颖英 1邓勇生 1刘涛 1高罗强1

作者信息

  • 1. 陕西电器研究所,陕西西安 710075
  • 折叠

摘要

关键词

硅压阻压力传感器/敏感芯体/信号跳变/硅油/空化/振动

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

张颖英,邓勇生,刘涛,高罗强..硅压阻压力传感器优化设计[J].物联网技术,2019,9(8):24-25,27,3.

物联网技术

2095-1302

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