| 注册
首页|期刊导航|物理学报|变组分Al对HfO2阻变特性影响:第一性原理研究

变组分Al对HfO2阻变特性影响:第一性原理研究

代广珍 姜永召 倪天明 刘鑫 鲁麟 刘琦

物理学报2019,Vol.68Issue(11):67-73,7.
物理学报2019,Vol.68Issue(11):67-73,7.DOI:10.7498/aps.68.20181995

变组分Al对HfO2阻变特性影响:第一性原理研究

First principles study of effect of vaiable component Al on HfO2 resistance

代广珍 1姜永召 1倪天明 1刘鑫 1鲁麟 1刘琦2

作者信息

  • 1. 安徽工程大学电气工程学院,芜湖241000
  • 2. 中国科学院微电子研究所,北京100029
  • 折叠

摘要

关键词

HfO2/第一性原理/间隙Al/晶格结构

引用本文复制引用

代广珍,姜永召,倪天明,刘鑫,鲁麟,刘琦..变组分Al对HfO2阻变特性影响:第一性原理研究[J].物理学报,2019,68(11):67-73,7.

基金项目

安徽省高等学校教育基金(批准号:KZ00216022)、安徽工程大学科研启动基金(2018YQQ007)和国家自然科学基金(批准号:61306108,61172131,61271377)资助的课题. (批准号:KZ00216022)

物理学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-3290

访问量0
|
下载量0
段落导航相关论文