|国家科技期刊平台
| 注册
首页|期刊导航|西安电子科技大学学报（自然科学版）|一种薄膜体声波谐振器的设计与验证

一种薄膜体声波谐振器的设计与验证

申洪霞 欧文

西安电子科技大学学报（自然科学版）2019，Vol.46Issue(4)：144-149,6.
✕
西安电子科技大学学报（自然科学版）2019，Vol.46Issue(4)：144-149,6.DOI:10.19665/j.issn1001-2400.2019.04.020

一种薄膜体声波谐振器的设计与验证

Design and verification of a film bulk acoustic resonator

申洪霞 1欧文2

作者信息

  • 1. 中国科学院大学 微电子学院,北京 101400
  • 2. 中国科学院 微电子研究所,北京 100020
  • 折叠

摘要

关键词

薄膜体声波谐振器/氮化铝/诱导层

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

申洪霞,欧文..一种薄膜体声波谐振器的设计与验证[J].西安电子科技大学学报（自然科学版）,2019,46(4):144-149,6.

基金项目

国家重点研发计划(2016YFA0401301) （2016YFA0401301）

西安电子科技大学学报（自然科学版）

OA北大核心CSCDCSTPCD

1001-2400

访问量0
|
下载量0
段落导航相关论文