液晶与显示2019，Vol.34Issue(6)：564-569,6.DOI:10.3788/YJYXS20193406.0564
IGZO-TFT钝化层三元复合结构过孔刻蚀
Ternary composites of passivation layer for hole plasma etching of IGZO-TFT
田茂坤 1谌伟 1王恺 1吴旭 1董晓楠 1黄中浩 1王骏 1王思江 1赵永亮 1闵泰烨 1袁剑峰 1孙耒来1
作者信息
- 1. 重庆京东方光电科技有限公司,重庆400700
- 折叠
摘要
关键词
氧化物TFT/三元复合结构/钝化层/过孔刻蚀分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
田茂坤,谌伟,王恺,吴旭,董晓楠,黄中浩,王骏,王思江,赵永亮,闵泰烨,袁剑峰,孙耒来..IGZO-TFT钝化层三元复合结构过孔刻蚀[J].液晶与显示,2019,34(6):564-569,6.
