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光栅精密位移测量技术发展综述

高旭 李舒航 马庆林 陈伟

中国光学2019，Vol.12Issue(4)：741-752,12.
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中国光学2019，Vol.12Issue(4)：741-752,12.DOI:10.3788/CO.20191204.0741

光栅精密位移测量技术发展综述

Development of grating-based precise displacement measurement technology

高旭 1李舒航 1马庆林 1陈伟2

作者信息

  • 1. 长春理工大学 光电工程学院,吉林 长春 130022
  • 2. 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所,吉林 长春 130033
  • 折叠

摘要

关键词

位移测量/光栅/高精度测量/衍射干涉

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

高旭,李舒航,马庆林,陈伟..光栅精密位移测量技术发展综述[J].中国光学,2019,12(4):741-752,12.

基金项目

国家自然科学基金(No. 51505078) （No. 51505078）

吉林省科技厅优秀青年人才基金(No. 20180520187JH) （No. 20180520187JH）

吉林省教育厅"十三五"科学技术项目基金(No. JJKH20190544KJ) （No. JJKH20190544KJ）

中国博士后面上基金(No. 2018M641778) （No. 2018M641778）

中国光学

OA北大核心CSCDCSTPCD

2095-1531

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