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容性耦合射频放电等离子体的仿真模拟与实验诊断研究

朱寒 何湘 陈秉岩 陈建平

电工技术学报2019，Vol.34Issue(16)：3504-3511,8.
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电工技术学报2019，Vol.34Issue(16)：3504-3511,8.DOI:10.19595/j.cnki.1000-6753.tces.181805

容性耦合射频放电等离子体的仿真模拟与实验诊断研究

Simulations and Experimental Diagnostic of Capacitively Coupled RF Discharge Plasma

朱寒 1何湘 1陈秉岩 1陈建平2

作者信息

  • 1. 河海大学理学院 南京 210098
  • 2. 北京航空工程技术研究中心 北京 100076
  • 折叠

摘要

关键词

容性耦合射频放电/等离子体/实验诊断/COMSOL仿真

分类

数理科学

引用本文复制引用

朱寒,何湘,陈秉岩,陈建平..容性耦合射频放电等离子体的仿真模拟与实验诊断研究[J].电工技术学报,2019,34(16):3504-3511,8.

基金项目

国家自然科学基金(61378037)和中央高校基本科研业务费项目(2018B19814)资助. （61378037）

电工技术学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-6753

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