福州大学学报（自然科学版）2019，Vol.47Issue(4)：441-446,6.DOI:10.7631/issn.1000-2243.18527
三重图样光刻与定向自组装技术下通孔层的分解
Contact layer decomposition of DSA with TPL
摘要
关键词
掩模版/引导槽/分配/定向自组装/三重图样光刻/冲突/成本分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
李兴权,吴莉莉,朱文兴..三重图样光刻与定向自组装技术下通孔层的分解[J].福州大学学报（自然科学版）,2019,47(4):441-446,6.基金项目
闽南师范大学科研启动基金资助项目(KJ18009) （KJ18009）
国家自然科学基金面上资助项目(61672005) （61672005）
