激光技术2019，Vol.43Issue(5)：635-640,6.DOI:10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2019.05.009
矩形光栅局部结构误差对衍射效率的影响
Influence of partial structure error of rectangular grating on diffraction efficiency
摘要
关键词
光栅/衍射效率/标量衍射理论/局部结构误差分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
邓启威,张蓉竹,孙年春..矩形光栅局部结构误差对衍射效率的影响[J].激光技术,2019,43(5):635-640,6.基金项目
国家八六三高技术研究发展计划资助项目(2015AA8042038) （2015AA8042038）
