宇航材料工艺2019，Vol.49Issue(4)：23-27,5.DOI:10.12044/j.issn.1007-2330.2019.04.005
冶金法提纯多晶硅退火工艺优化的数学模型分析与试验验证
Mathematical Model Analysis and Experimental Verification of Polycrystalline-Silicon Annealing Optimization by Metallurgical Method
摘要
关键词
多晶硅/冶金法/退火/建模/试验分类
数理科学引用本文复制引用
朱徐立,徐隆,苏骑,吴虹琼..冶金法提纯多晶硅退火工艺优化的数学模型分析与试验验证[J].宇航材料工艺,2019,49(4):23-27,5.基金项目
福建省中青年教师教育科研项目(JAT171051) （JAT171051）
