金刚石与磨料磨具工程2019，Vol.39Issue(3)：29-37,9.DOI:10.13394/j.cnki.jgszz.2019.3.0006
6H-SiC单晶紫外光催化抛光中光照方式和磨料的影响
Effects of lights modes and abrasives on UV-photocatalysis assisted polishing of 6H-SiC single crystal
摘要
关键词
紫外光催化辅助抛光/6H-SiC单晶/羟基自由基/光照方式/磨料分类
矿业与冶金引用本文复制引用
LU Jiabin,XIONG Qiang,YAN Qiusheng,WANG Xin,BIN Shuiming..6H-SiC单晶紫外光催化抛光中光照方式和磨料的影响[J].金刚石与磨料磨具工程,2019,39(3):29-37,9.基金项目
国家自科学基金项目(51375097) （51375097）
NSFC-广东省联合基金(U1801259). （U1801259）
