西北师范大学学报（自然科学版）2019，Vol.55Issue(4)：56-62,7.DOI:10.16783/j.cnki.nwnuz.2019.04.010
13.56 MHz/94.92 MHz双频容性耦合氩等离子体特性研究
Characteristic of 13.56 MHz/94.92 MHz dual-frequency capacitively coupled argon plasma
摘要
关键词
双频容性耦合/电子温度/电子密度/等离子体分类
数理科学引用本文复制引用
YUAN Qiang-hua,MENG Xiang-guo,YIN Gui-qin,WU Liang-chao,LIU Shan-shan..13.56 MHz/94.92 MHz双频容性耦合氩等离子体特性研究[J].西北师范大学学报（自然科学版）,2019,55(4):56-62,7.基金项目
国家自然科学基金资助项目(11165012) （11165012）
