传感技术学报2019，Vol.32Issue(8)：1144-1150,7.DOI:10.3969/j.issn.1004-1699.2019.08.004
一种海洋MEMS电导率传感器结构优化设计
A Structural Optimized Design of Marine MEMS Conductivity Sensor
摘要
关键词
海洋传感器/电导率传感器/有限元分析/COMSOL仿真/MEMS分类
机械制造引用本文复制引用
李志伟,李红志,贾文娟,李醒飞..一种海洋MEMS电导率传感器结构优化设计[J].传感技术学报,2019,32(8):1144-1150,7.基金项目
国家重点研发计划重点专项项目( 2016YFC1400400) （ 2016YFC1400400）
滨海新区海洋经济创新发展示范项目( 1723434C4114194) （ 1723434C4114194）
