|国家科技期刊平台
| 注册
首页|期刊导航|大科技|直拉硅单晶炉中异型加热器的应用分析

直拉硅单晶炉中异型加热器的应用分析

唐凯

大科技Issue(28)：181,1.
✕
大科技Issue(28)：181,1.

直拉硅单晶炉中异型加热器的应用分析

唐凯1

作者信息

  • 1. 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司
  • 折叠

摘要

关键词

直拉硅单晶炉/异型/加热器/设备

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

唐凯..直拉硅单晶炉中异型加热器的应用分析[J].大科技,2019,(28):181,1.

大科技

1004-7344

访问量0
|
下载量0
段落导航相关论文