硅酸盐通报2019，Vol.38Issue(8)：2369-2374,2383,7.
雾化施液单晶硅互抛抛光速率实验研究
Experimental Study on Atomization Mutual Polishing Rate of Single Crystal Silicon
摘要
关键词
雾化互抛抛光/抛光参数/电化学/抛光速率分类
建筑与水利引用本文复制引用
李庆忠,孙苏磊,李强强..雾化施液单晶硅互抛抛光速率实验研究[J].硅酸盐通报,2019,38(8):2369-2374,2383,7.基金项目
国家自然科学基金(51175228) （51175228）
