光学精密工程2019，Vol.27Issue(8)：1719-1726,8.DOI:10.3788/OPE.20192708.1719
新型圆光栅测角误差补偿方法及其应用
Application and novel angle measurement error compensation method of circular gratings
摘要
关键词
精密测量/圆光栅测角/测角误差/谐波补偿/多项式分类
通用工业技术引用本文复制引用
于连栋,鲍文慧,赵会宁,贾华坤,张润..新型圆光栅测角误差补偿方法及其应用[J].光学精密工程,2019,27(8):1719-1726,8.基金项目
国家重大科学仪器设备开发专项(No.2013YQ220893) （No.2013YQ220893）
111计划项目(No.B12019) （No.B12019）
国家自然科学基金资助项目(No.51875165) （No.51875165）
国家自然基金青年基金资助项目(No.51805139) （No.51805139）
