|国家科技期刊平台
| 注册
首页|期刊导航|光学精密工程|空间分离式外差二自由度平面光栅干涉仪

空间分离式外差二自由度平面光栅干涉仪

邢旭 常笛 胡鹏程 谭久彬

光学精密工程2019，Vol.27Issue(8)：1727-1736,10.
✕
光学精密工程2019，Vol.27Issue(8)：1727-1736,10.DOI:10.3788/OPE.20192708.1727

空间分离式外差二自由度平面光栅干涉仪

Spatially separated heterodyne grating interferometer for in-plane displacement measurement

邢旭 1常笛 1胡鹏程 1谭久彬1

作者信息

  • 1. 哈尔滨工业大学 超精密光电仪器工程研究所 &超精密仪器技术及智能化工业和信息化部重点实验室(哈尔滨工业大学),黑龙江 哈尔滨 150001
  • 折叠

摘要

关键词

光栅干涉/空间分离外差干涉/二自由度/位移测量

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

邢旭,常笛,胡鹏程,谭久彬..空间分离式外差二自由度平面光栅干涉仪[J].光学精密工程,2019,27(8):1727-1736,10.

基金项目

国家科技重大专项资助项目(No.2017ZX02101006-005) （No.2017ZX02101006-005）

国家自然科学基金资助项目(No.51675138) （No.51675138）

光学精密工程

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-924X

访问量0
|
下载量0
段落导航相关论文