光学精密工程2019，Vol.27Issue(8)：1765-1773,9.DOI:10.3788/OPE.20192708.1765
扫描干涉光刻机的超精密移相锁定系统
Ultra-precision phase-shifting locking system of scanning beam interference lithography tool
摘要
关键词
扫描干涉光刻/零差移频式相位锁定/外差利特罗光栅干涉仪/移相锁定控制/陷阱滤波分类
机械制造引用本文复制引用
王磊杰,张鸣,朱煜,鲁森,杨开明..扫描干涉光刻机的超精密移相锁定系统[J].光学精密工程,2019,27(8):1765-1773,9.基金项目
国家自然科学基金资助项目(No.51677104) （No.51677104）
中国博士后科学基金资助项目(No.2017M610885) （No.2017M610885）
02国家重大科技专项资助项目(No.2018ZX02101003) （No.2018ZX02101003）
