光学精密工程2019，Vol.27Issue(8)：1774-1782,9.DOI:10.3788/OPE.20192708.1774
高带宽两自由度并联柔顺精密定位平台的优化设计与实验
Optimal design and experiment of a high-bandwidth two-degree-of-freedom parallel nanopositioning stage
摘要
关键词
精密定位平台/高带宽/优化设计/固有频率分类
机械制造引用本文复制引用
林盛隆,张宪民,朱本亮..高带宽两自由度并联柔顺精密定位平台的优化设计与实验[J].光学精密工程,2019,27(8):1774-1782,9.基金项目
国家自然科学基金资助项目(No.51820105007) （No.51820105007）
广州市珠江科技新星项目(No.201906010061) （No.201906010061）
