金刚石与磨料磨具工程2019，Vol.39Issue(4)：62-65,4.DOI:10.13394/j.cnki.jgszz.2019.4.0010
造孔剂含量对树脂结合剂硅片减薄砂轮磨削性能的影响
Influence of pore-forming agent content on grinding performance of resin-bonded silicon wafer thinning wheel
惠珍 1赵延军 2张高亮 1赵炯 2丁玉龙 1叶腾飞 1孙冠男 2熊华军1
作者信息
- 1. 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司,郑州 450001
- 2. 超硬材料磨具国家重点实验室,郑州 450001
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摘要
关键词
硅片背面减薄砂轮/气孔率/磨纹/哈量粗糙度值分类
化学化工引用本文复制引用
惠珍,赵延军,张高亮,赵炯,丁玉龙,叶腾飞,孙冠男,熊华军..造孔剂含量对树脂结合剂硅片减薄砂轮磨削性能的影响[J].金刚石与磨料磨具工程,2019,39(4):62-65,4.
