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基于显微机器视觉的MEMS微构件表面缺陷检测系统研究

王思琪 魏绍鹏 丁涛 贺秋冬

湖北工程学院学报2019,Vol.39Issue(3):49-52,4.
湖北工程学院学报2019,Vol.39Issue(3):49-52,4.

基于显微机器视觉的MEMS微构件表面缺陷检测系统研究

王思琪 1魏绍鹏 1丁涛 1贺秋冬1

作者信息

  • 1. 湖北工程学院机械工程学院,湖北孝感432000
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摘要

关键词

显微机器视觉/MEMS微构件/表面缺陷/检测

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

王思琪,魏绍鹏,丁涛,贺秋冬..基于显微机器视觉的MEMS微构件表面缺陷检测系统研究[J].湖北工程学院学报,2019,39(3):49-52,4.

基金项目

湖北省科技厅青年项目(2015CFB369) (2015CFB369)

湖北工程学院科学研究项目(201849) (201849)

湖北工程学院学报

OACHSSCD

2095-4824

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