光学精密工程2019，Vol.27Issue(9)：1909-1918,10.DOI:10.3788/OPE.20192709.1909
面向浸没式光刻机的超精密光学干涉式光栅编码器位移测量技术综述
Review of ultra-precision optical interferential grating encoder displacement measurement technology for immersion lithography scanner
摘要
关键词
浸没式光刻机/光学干涉式光栅编码器/位移测量分类
机械制造引用本文复制引用
王磊杰,张鸣,朱煜,叶伟楠,杨富中..面向浸没式光刻机的超精密光学干涉式光栅编码器位移测量技术综述[J].光学精密工程,2019,27(9):1909-1918,10.基金项目
国家重大科技专项(02专项)资助项目(No.2017ZX02102004,No.2018ZX02101003) （02专项）
