光学精密工程2019，Vol.27Issue(9)：1935-1942,8.DOI:10.3788/OPE.20192709.1935
电磁悬浮静电驱动旋转微镜控制系统设计
Control system for an electromagnetic suspension and electrostatically drive rotating micro mirror
摘要
关键词
电磁悬浮/静电驱动/微镜/控制系统分类
机械制造引用本文复制引用
肖奇军,罗忠辉..电磁悬浮静电驱动旋转微镜控制系统设计[J].光学精密工程,2019,27(9):1935-1942,8.基金项目
广东省自然科学基金资助项目(No.2016A030313846) （No.2016A030313846）
广东省教育厅特色创新项目(No.2017KTSCX197) （No.2017KTSCX197）
