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基于氩等离子处理的阻变氧空位调控探讨

徐文彬 任高潮

集美大学学报(自然科学版)2019,Vol.24Issue(5):387-392,6.
集美大学学报(自然科学版)2019,Vol.24Issue(5):387-392,6.DOI:10.19715/j.jmuzr.2019.05.11

基于氩等离子处理的阻变氧空位调控探讨

Oxygen Vacancy Regulation of Resistive Switching Properties Based on Argon Plasma Treatment

徐文彬 1任高潮2

作者信息

  • 1. 集美大学信息工程学院, 福建 厦门361021
  • 2. 浙江大学信电系, 浙江 杭州310027
  • 折叠

摘要

关键词

氧空位/等离子/阻变/ZnO/无电形成

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

徐文彬,任高潮..基于氩等离子处理的阻变氧空位调控探讨[J].集美大学学报(自然科学版),2019,24(5):387-392,6.

基金项目

福建省教育厅基金项目 (JAT170323) (JAT170323)

福建省自然科学基金项目 (2019J01717) (2019J01717)

集美大学学报(自然科学版)

1007-7405

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