轻工机械2019，Vol.37Issue(5)：1-5,5.DOI:10.3969/j.issn.1005-2895.2019.05.001
过氧化氢对轴承钢化学机械抛光性能的影响
Effect of Hydrogen Peroxide on Chemical Mechanical Polishing Performance of Bearing Steel
摘要
关键词
化学机械抛光/轴承钢/过氧化氢/超精密分类
矿业与冶金引用本文复制引用
王玉松,江亮,钱林茂..过氧化氢对轴承钢化学机械抛光性能的影响[J].轻工机械,2019,37(5):1-5,5.基金项目
国家自然科学基金青年科学面向超光滑、低损伤轴承钢表面的化学机械抛光机理研究(51605396). （51605396）
