物理化学学报2019,Vol.35Issue(10):1119-1127,9.DOI:10.3866/PKU.WHXB201812023
单层和双层二硫化钼化学气相沉积生长的动力学蒙特卡罗模拟研究
A Kinetic Monte Carlo Study for Mono- and Bi-layer Growth of MoS2 during Chemical Vapor Deposition
陈帅 1高峻峰 1SRINIVASAN Bharathi M. 1张永伟1
作者信息
- 1. 新加坡科技研究局高性能计算研究院,新加坡 138632
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摘要
关键词
二硫化钼/单层生长/双层生长/化学气相沉积/动力学蒙特卡罗分类
化学化工引用本文复制引用
陈帅,高峻峰,SRINIVASAN Bharathi M.,张永伟..单层和双层二硫化钼化学气相沉积生长的动力学蒙特卡罗模拟研究[J].物理化学学报,2019,35(10):1119-1127,9.