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多晶硅生产质量控制探讨

杨丞杰 张新红

云南化工2019,Vol.46Issue(1):4-6,3.
云南化工2019,Vol.46Issue(1):4-6,3.DOI:10.3969/j.issn.1004-275X.2019.01.002

多晶硅生产质量控制探讨

Quality control of polysilicon reduction production

杨丞杰 1张新红2

作者信息

  • 1. 湖北环宇化工有限公司,湖北仙桃433000
  • 2. 昆明有色冶金设计研究院股份公司,云南昆明650051
  • 折叠

摘要

关键词

多晶硅/质量控制/硅芯氧化

分类

化学化工

引用本文复制引用

杨丞杰,张新红..多晶硅生产质量控制探讨[J].云南化工,2019,46(1):4-6,3.

云南化工

1004-275X

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