云南化工2019，Vol.46Issue(1)：12-14,3.DOI:10.3969/j.issn.1004-275X.2019.01.004
多晶硅无定型硅粉形成原因及控制
Cause analysis and control measures of amorphous silicon powder in polysilicon production
宋张佐1
作者信息
- 1. 云南能投化工有限责任公司,云南昆明650100
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摘要
关键词
多晶硅/还原炉/无定型硅粉/雾化分类
通用工业技术引用本文复制引用
宋张佐..多晶硅无定型硅粉形成原因及控制[J].云南化工,2019,46(1):12-14,3.
