云南化工2019，Vol.46Issue(2)：4-6,3.DOI:10.3969/j.issn.1004-275X.2019.02.002
多晶硅生产中硅芯氧化问题探究
A study on silicon core oxidation in polysilicon production
宋张佐 1刘阳赞 1蔡永明 1周万礼1
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- 1. 云南能投化工有限责任公司,云南昆明650100
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宋张佐,刘阳赞,蔡永明,周万礼..多晶硅生产中硅芯氧化问题探究[J].云南化工,2019,46(2):4-6,3.
