云南师范大学学报（自然科学版）2019，Vol.39Issue(5)：15-20,6.DOI:10.7699/j.ynnu.ns-2019-060
低温铝诱导非晶硅晶化的热力学机理研究
Thermodynamic Study on the Aluminum-induced Crystallization of Amorphous Silicon
摘要
关键词
非晶硅薄膜/磁控溅射/铝诱导晶化/热力学机理/中间氧化层分类
数理科学引用本文复制引用
张力元,杨雯,段良飞,杨培志,杜凯翔..低温铝诱导非晶硅晶化的热力学机理研究[J].云南师范大学学报（自然科学版）,2019,39(5):15-20,6.基金项目
云南科技计划重点资助项目(2017FA024) （2017FA024）
国家自然科学基金云南联合基金资助项目(U1802257) （U1802257）
云南省高校科技创新团队支持计划资助项目. （）
