机械与电子2019，Vol.37Issue(8)：8-11,16,5.
残余层对紫外光滚动压印脱模质量影响的有限元分析
The Finite Element Analysis on the Effect of Residual Layer on the UV Roll-to-roll Imprint Lithography
摘要
关键词
紫外光滚动压印/脱模/残余层/数值仿真分类
机械制造引用本文复制引用
杨琛,李木军..残余层对紫外光滚动压印脱模质量影响的有限元分析[J].机械与电子,2019,37(8):8-11,16,5.基金项目
国家自然科学基金(51475442) （51475442）
